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【如何自制去離子水】自制去離子水的方法是自來水先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質 。然后高壓通過反滲透膜 。最后一般還要經過紫外殺菌以去除水中的微生物 。假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆 。相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝 ， 其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水 。
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