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真空度傳感器的工作原理是什么

生活經驗真空度傳感器

真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜（上電極）和上密封玻璃組成，下電極濺射在玻璃襯底上，絕緣層生長在電極上；硅膜是由硅片的雙面光刻、擴散和各向異性腐蝕技術形成的 。那么，真空度傳感器的工作原理是什么呢？

真空度傳感器的工作原理是什么

文章插圖
真空傳感器的工作原理是，介質的壓力直接作用于傳感器的薄膜，使薄膜產生與介質壓力成正比的微位移，改變傳感器的電阻，用電子線檢測，并轉換輸出與壓力相對應的標準信號 。
【真空度傳感器的工作原理是什么】真空傳感器是工業實踐中常用的壓力傳感器 。廣泛應用于石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、通風管道等行業 。
本文介紹了真空度傳感器的工作原理 。