【光刻技術的原理是什么】光刻技術的原理：集成電路制造中利用光學、化學反應原理和化學、物理刻蝕方法 ， 將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上 ， 形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術 。
隨著半導體技術的發展 ， 光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2至3個數量級 ， 已從常規光學技術發展到應用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術；使用波長已從4000埃擴展到 0.1埃數量級范圍 。
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