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中國有光刻機 ， 位于我國上海的SMEE已研制出具有自主知識產權的投影式中端光刻機 ， 形成產品系列初步實現海內外銷售 。正在進行其他各系列產品的研發制作工作 。
光刻機（Mask Aligner）是制造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備 。其分為兩種 ， 一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner ， 曝光時模板緊貼晶圓；另一種是利用類似投影機原理的stepper ， 獲得比模板更小的曝光圖樣 。高端光刻機被稱為“現代光學工業之花” ， 制造難度很大 ， 全世界只有少數幾家公司能制造 。
【中國光刻機現在多少納米 中國有光刻機嗎】
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