檢測平整度用的是空氣劈尖干涉原理 。
【利用光的干涉檢測平整度的原理】當(dāng)光垂直入射時(shí)，在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉，當(dāng)光波的光程差為波長的整數(shù)倍時(shí) ， 形成明條紋，為半波長的奇數(shù)倍時(shí)，形成暗條紋 。而光程差取決于空氣層的厚度 ， 空氣層厚度相同的位置明暗紋情況相同，若工件不平整，則條紋會(huì)凸起，向左向右都有可能，關(guān)鍵是看不平整的地方是凸起還是凹陷 。
手壓玻璃板時(shí)，空氣層厚度改變，會(huì)使得條紋移動(dòng) 。例如左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起)，凹陷(凸起)處空氣層厚度和其左邊工件平面上的空氣厚度相同，所以條紋向左凸 。

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