【什么是微系統結構】系統技術是以微米量級內的設計和制造技術為基礎，研究開發微傳感器、微致動器以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統 。微系統可以完成大尺寸機電系統所不能完成的任務、智能化和可靠性提高到一個新的水平 。預期未來微系統將是科技上舉足輕重的新領域，具有廣闊的應用前景，也可嵌入大尺寸系統中自動化 。
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