1. 首頁 > 生活經驗 > >

光刻機用來干嘛

生活百科


光刻機用來干嘛

文章插圖
【光刻機用來干嘛】1、用途 。
光刻機是芯片制造的核心設備之一 ， 按照用途可以分為好幾種：有用于生產芯片的光刻機；有用于封裝的光刻機；還有用于LED制造領域的投影光刻機 。
用于生產芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短板，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口，本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用于芯片生產的設備 。
2、工作原理 。
在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖 。
一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序 。經過一次光刻的芯片可以繼續涂膠、曝光 。越復雜的芯片，線路圖的層數越多，也需要更精密的曝光控制過程 。