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四氟化硅在常溫下是無色、有毒、有刺激性氣味的氣體，易潮解，在潮濕空氣體中能產生濃煙 。四氟化硅 ， 又稱氟化硅，分子式SiF4，分子量104.06 。
四氟化硅通常用于制備氟硅酸和氟化鉛，也用作水泥和人造大理石的硬化劑和有機硅化合物的合成材料 。
四氟化硅對眼睛、皮膚、粘膜、呼吸道有嚴重損害 ， 局部腐蝕性強，嚴重中毒可引起肺炎和肺水腫 。
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