掩膜的原理是什么

【掩膜的原理是什么】在半導體制造的整個流程中,其中一部分就是從版圖到晶圓制造中間的一個過程,即光掩膜或稱光罩制造 。這一部分是流程銜接的關鍵部分,是流程中造價最高的一部分,也是限制最小線寬的瓶頸之一 。
光掩膜除了應用于芯片制造外,還廣泛的應用與像LCD , PCB等方面 。常見的光掩膜的種類有四種,鉻版、干版,凸版、液體凸版 。主要分兩個組成部分,基板和不透光材料 ?;逋ǔJ歉呒兌?,低反射率,低熱膨脹系數的石英玻璃 。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1微米的鉻層 。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能