硅的氣態氫化物是甲硅烷 。
甲硅烷作為一種提供硅組分的氣體源 ， 可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物 。
【硅的氣態氫化物】甲硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層，并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物 。

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