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激光位移傳感器是利用激光技術進行測量的傳感器,由激光器、激光檢測器和測量電路組成 。作為新型測量設備,激光位移傳感器能夠精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化,還可測量位移、厚度、振動、距離、直徑等精密的幾何測量 。
目前,激光位移傳感器按照原理可分為激光三角測量法和激光回波分析法兩種,其中激光三角測量法適用于高精度、短距離的測量,激光回波分析法則用于遠距離測量 。在當前的工業機器人應用中,通常采用三角測量法,這種方法最高線性度可達1um,分辨率可達到0.1um的水平 。
三角測量法的原理是通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內部的CCD線性相機接收,根據不同的距離,CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點 。根據這個角度及已知的激光和相機之間的距離,數字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離 。
回波分析法則是通過激光發射器每秒發射一百萬個激光脈沖到檢測物并返回至接收器,處理器計算激光脈沖遇到檢測物并返回至接收器所需的時間,以此計算出距離值,該輸出值是將上千次的測量結果進行的平均輸出,即所謂的脈沖時間法測量的 。激光回波分析法適合于長距離檢測,但測量精度相對于激光三角測量法要低,最遠檢測距離可達250m 。
【激光三角測距法 激光測距的三角測量法】激光位移傳感器常用于長度、距離、振動、速度、方位等物理量的測量,還可用于探傷和大氣污染物的監測等 。
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