清洗后的硅片怎么保存

1、單晶片和外延片的保存;可將拋光后的單晶片或外延片裝入一樣大小的小塑料袋內 , 每袋裝一片 , 或背靠背可裝二片 , 然后 , 將小塑料袋疊好 , 裝入尺寸定做的硬紙盒內 , 盒內上部多余空間再放點小包硅膠防潮 , 蓋上盒蓋后 , 在盒蓋表面再寫上批次、型號、入庫時間、數量等 。
【清洗后的硅片怎么保存】2、當要使用單晶片和外延片時 , 只要從倉庫按需取出 , 然后將硅片從塑料袋內小心取出 , 放入化學瓷坩堝內進行化學清洗 , 清洗完了最后用去離子水沖凈烘干即可使用 。
3、如果是化開的小芯片保存 , 則只要用小燒杯或玻璃培養皿進行超聲清洗后再烘干 , 烘干后如短期存放就直接放在干凈的玻璃培養皿內蓋上 , 然后再放入有磨口的玻璃干燥器內 。
4、烘干后如長期存放 , 就在干凈玻璃培養皿內放一層定性濾紙 , 然后在定性濾紙上再放一層小芯片 , 面上再蓋一層干凈定性濾紙 , 接著又放一層小芯片 , 反正 , 這樣交替疊放 , 裝滿為止 , 最后用配套的玻璃培養皿蓋上再放入有磨口的玻璃干燥器內或真空干燥箱內保存 。
5、當要使用小芯片時 , 只需取出用丙酮——乙醇超聲機上清洗 , 最后用去離子水沖凈烘干即可使用 。