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空氣膜劈尖向下的經驗性方法 薄膜干涉檢查平面原理

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1．兩板間產生一層空氣膜，用可見光從上向下直射，入射角從空氣膜左右表面反射出二列微波，產生干涉花紋 。一旦被查驗平面圖是平滑的，所得到的干涉圖樣必是等間隔的 。假如某點凹陷，則相匹配亮紋(或暗紋)提早發生；假如某點突起來，則相匹配花紋延后發生 。(注：“提早”與“延后”并不是指在這個時間，而應該是從左到右位置次序上)
【空氣膜劈尖向下的經驗性方法 薄膜干涉檢查平面原理】2．旋轉法是一種省時省力地判斷被查驗平面圖上有突起或是凹痕的經驗型方式，而非可以從定律或基本定律推論得出來的基礎理論結論 。具體做法是把干涉圖樣及設備一起在紙張旋轉90° 。運動方向是讓裝置劈形空氣膜劈尖往下，即裝置成“V”字型 。