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中國哪所大學有制造光刻機專業

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1、基本上的理科大學都有這個專業，只不過大學不一樣，專業知識也不一樣 。
【中國哪所大學有制造光刻機專業】2、光刻機屬于一個各學科集成的產品，泛泛而言，設計到光學、機械加工、電子電路、化學等多個學科知識 。
3、光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等 。常用的光刻機是掩膜對準光刻，所以叫 Mask Alignment System 。
4、一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序 。
5、Photolithography（光刻） 意思是用光來制作一個圖形（工藝） 。在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“復制”到硅片上的過程 。