微量油的測定方法有重量法、紫外分光光度法、紅外分光光度法、熒光光譜法、比濁法、氣相色譜法、高效液相色譜法、氣相色譜一質譜連用技術等 。 常用的是重量法和分光光度法 。 采用重量法分析油含量，雖不受油種類的限制，但操作繁瑣費時、靈敏度低，并會造成低沸點烷烴的損失，只適用于測定液體中質量濃度為10mg/L以上的含油樣，測定濃度低的含油樣的測定誤差較大，重現性差 。 由于SF6氣體中的含油量非常低，重量法的低靈敏度決定了它不適合測定氣體中的含油量 。 紫外分光光度法和熒光法只能測定以芳香烴形式存在的油，不能測定以甲基、亞甲基形式存在的油 。 非分散紅外法只能測定以甲基、亞甲基形式存在的油，不能測定以芳香烴形式存在的油 。 另外，紫外分光光度法沒有一種特定的標準油，標準油的選擇難度大，數據可比性差 。 在紅外光譜法中，在紅外光譜區波數為2930cm-1, 2960cm-1 , 3030cm-1處分別對油中亞甲基、甲基、芳香環中的C—H鍵有特征吸收，對任何一種油來說，這一吸收帶幾乎都相同，不受其他物質的干擾，且吸收量與樣品中的油濃度成正比 。 由于SF6中礦物油的含量很低，采用紅外光譜法可準確測定出SF6氣體中的礦物油含量 。
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