【流量單位中SCCM是什么】SCCM是質流單位，表示標準毫升每分鐘，與一般常用的流量單位是不同的，常見的流量單位例如：1毫升每秒，代表單位時間流過的體積 ， 而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數，這種單位通常用于化學反應中，如CVD等需要精確控制原子成分比之場合 。
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