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硅的氣態氫化物是什么

生活百科氣態

1、硅的氣態氫化物為硅烷；
【硅的氣態氫化物是什么】2、硅烷是一系列化合物的總稱 ， 包括甲硅烷 、乙硅烷和一些更高級的硅氫化合物 。目前應用最多的是甲硅烷 。一般把甲硅烷簡稱做硅烷 。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物 。因其高純度和能實現精細控制 ， 已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體 。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層 ，  并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物 。