1、多晶硅，是熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅；
【硅有幾種單質結構】2、單晶硅，硅的單晶體，具有基本完整的點陣結構的晶體，不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料；
3、低溫硅，是指硅烷在低溫下由分解反應形成的單質硅，其與多晶硅的原子排列形式不同，又稱為無定形硅 。
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