光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等 。常用的光刻機是掩膜對準光刻，所以叫MaskAlignmentSystem 。目前 ， 世界上能制造光刻機的國家有荷蘭、日本、德國和中國 。
【世界上能制造光刻機的國家有哪些】目前能制造高端光刻機的廠家有：荷蘭ASML ， 日本Nikon ， 日本Canon，以及上海微電子裝備和德國的歐泰克 。
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