甲烷：是結構最簡單的碳氫化合物 。廣泛存在于天然氣、沼氣、煤礦坑井氣之中，是優質氣體燃料，也是制造合成氣和許多化工產品的重要原料 。從分子的層面上來說，甲烷是一種比二氧化碳更加活躍的溫室氣體，但它在大氣中數量較少 。
硅烷：為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物 。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體 。
【如何鑒別甲烷和甲硅烷】鑒別甲烷和甲硅烷方法：甲烷與氧氣反應生成二氧化碳和水 ， 則甲硅烷與氧氣反應生成二氧化硅和水 。