真空泵有哪幾種


真空泵有哪幾種

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真空泵的分類:
按工作原理分類:
1、氣體輸送泵,包括變容真空泵、動量傳輸泵;
2、氣體捕集泵,包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵 。
按真空度分類:
1、粗真空度;
2、高真空度 , 包括滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵;
【真空泵有哪幾種】3、超高真空度 。