幾種常用的平面度測量方法及缺陷 _知識百科

平面度（flatness;planeness) ，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量通常有：塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。
塞尺測量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高，常規最薄塞尺為10um ，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。
液平面法，基于連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面。
激光平面干涉儀測量法，最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學透鏡。
水平儀測量法，廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。
【幾種常用的平面度測量方法及缺陷】打表測量法，典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量點相對于測量基準的數據，再經過數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠。